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青島分度科技有限公司西鐵城2S-010

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貨號378-184-1 378-184-3 三豐MITUTOYO

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品牌:

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? 帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金屬表面、半導(dǎo)體、液晶基板、樹脂等。

? 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專業(yè)器械的OEM (原廠委制) 產(chǎn)品,如那些利用YAG (近紅外、可見、近紫外或紫外) 激光* 對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行檢測和修補(bǔ)的設(shè)備。* 不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。

? 應(yīng)用:切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做標(biāo)記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(fù)(校正錯誤)。還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針分析半導(dǎo)體故障。

? 可用于紅外光學(xué)系統(tǒng)*。應(yīng)用:晶體硅的內(nèi)部觀察;紅外光譜特征分析。* 需要紅外光源和紅外攝像機(jī)。

? 支持BF (亮視場)、DF (暗視場)、偏振光及微分干涉對比(DIC) 的型號(產(chǎn)品) 可用。

? 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)系統(tǒng)上的標(biāo)準(zhǔn)配件。

? 內(nèi)傾轉(zhuǎn)塔和超長工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。

半導(dǎo)體檢測顯微鏡單元技術(shù)參數(shù)

 

型號

FS70

FS70-TH

FS70Z

FS70Z-TH

FS70L

FS70L-TH

FS70L4

FS70L4-TH

型號

FS70S

FS70-THS

FS70ZS

FS70Z-THS

FS70LS

FS70L-THS

FS70L4S

FS70L4-THS

聚焦調(diào)節(jié)

使用同心粗調(diào)(3.8mm/rev)和微調(diào)(0.1mm/rev)對焦輪(右/左)實(shí)現(xiàn)50mm行程范圍

圖像

正像

物鏡筒鏡

西登托夫型, 調(diào)節(jié)范圍: 51 - 76mm

視場數(shù)

24mm

俯角

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

透過率

固定(目

鏡/TV=

50%/50%)

可調(diào)型(目

鏡/管徑=

100%/0%

0%/100%)

固定(目

鏡/TV=

50%/50%)

可調(diào)型(目鏡/管徑=100%/0%:0%/100%)

防護(hù)濾光片

-

內(nèi)置激光濾光片

管徑鏡頭

1x

1x-2x放大

1x

適用激光

-

1064/532/355nm

532/266nm

相機(jī)安裝端口

C-mount (適用適配器B選件)

使用帶TV接口的激光

C-mount開關(guān)

(帶綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān))

照明系統(tǒng)(選件)

亮視場反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌)

12V100W亮視場反射照明、無極亮度調(diào)節(jié)、光纖長度

物鏡

(用于觀察)

M Plan Apo, M Plan   Apo SL, G Plan Apo

物鏡(用于激光切割)

-

M/LCD Plan NIR,

M/LCD Plan NUV

M Plan UV

載重

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.2kg

13.5kg

13.9kg

13.1kg

重量(主機(jī))

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

6.4kg

7.2kg

6.7kg

7.5kg

燈泡更換

標(biāo)準(zhǔn):   鹵素?zé)襞?(12V, 100W) (517181)

用于光纖傳導(dǎo)照明裝置 (12V, 100W) (378-700)

注:鏡體的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量。

半導(dǎo)體檢測顯微鏡單元標(biāo)準(zhǔn)配置

主機(jī);

相機(jī)(根據(jù)不同型號配置);

管徑鏡頭(根據(jù)不同型號配置);

防護(hù)濾光片;

物鏡(根據(jù)不同型號配置);

鹵素?zé)襞荩?/span>

半導(dǎo)體檢測顯微鏡單元可選配件

照明系統(tǒng):

亮視場反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌);

12V100W亮視場反射照明、無極亮度調(diào)節(jié)、光纖長度;

物鏡:

用于觀察:M Plan Apo, M Plan   Apo SL, G Plan Apo;

用于激光切割:M/LCD Plan NIR,M/LCD Plan NUV,M Plan UV;



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